样品制备仪器

LED研发系统

电子束镀膜系统

多靶磁控溅射系统

多元有机气相分子束沉积系统

非晶制备系统

脉冲激光沉积系统

高精度光学浮区法单晶炉

激光刻膜机

人造金刚石压机

原子层沉积系统

双室磁控溅射沉积系统

微波合成系统

功能材料物理与化学教育部重点实验室 

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