仪器名称:场发射扫描电子显微镜
仪器型号:JSM-7800F
生产厂商:日本电子
主要特点: 超高的分辨率0.8 nm (15 kV) and 1.2 nm (1 kV)
高速精确分析能力
稳定的大束流
从磁性样品到非导体样品使用范围广泛
技术指标:分辨率:0.8nm (15 kV),1.2nm (1 kV)
放大倍数:25 to 1,000,000×
加速电压:0.01 to 30kV
束流强度:200 nA (15 kV)
样品台:5轴马达驱动
探头类型:LED、UED、BED、STEM、EDS(型号为80 mm2 X-MaxN Silicon Drift Detector)、EBSD(型号为NordlysMax2)
主要功能: 金属、非金属、生物等各种样品的纳米尺度的形貌分析;微区成分分析;微区取向、微观织构分析;晶体结构分析;物相分析等。